進化系DLCコーティング

脱炭素化社会に向け、需要が高まる風力発電機内部の軸受部へのDLC処理により、耐摩耗性の飛躍的な向上に寄与。特に洋上大型風力発電用途に関しては、軸受部に掛かる負荷も大きくなります。また、洋上でのメンテナンスの効率化も含め、より耐久性や摺動性の改善が求められています。同様に脱炭素型発電設備として今後の普及が予想される水素電池（FC）のスタック内部部品等への採用も期待されます。

独自の技術を活かし、さまざまな材質・用途・環境下での使用に対応。最先端分野での新用途を中心に、さまざまな膜種提案による耐摩耗性や摺動性の向上はもちろん、高導電・絶縁、高親水・撥水・バリア性の付与等に貢献します。

DLC（ダイヤモンドライクカーボン）コーティングの代表的用途は、工作機械用切削工具（ドリル・エンドミル・チップ）、金型（射出・プレス・板金）、自動車エンジン部品（ピストンリング・コンロッド）などの摺動性・耐摩耗性向上です。これらの実績から、従来は自動車関連分野での採用がメインでしたが、最近では幅広い分野でDLCの用途が急拡大しています。その背景には、まだ知られていないDLCが持つ奥深い、さまざまな基本特性があります。
代表的な特性の極薄膜厚（数nｍ～数μｍ）での強靭な膜強度（GPa25～80）や低摩擦係数（0.05～）など、塗料やメッキといった他のコーティングにはない基本特性に加え、素材への優れた密着強度があります。また、近年ではこれらの特性以外にも、ダイヤモンドとカーボンの特性を活かした絶縁性・導電性といった、本来相反する特性の制御と向上などが可能になっています。同様に親水性・疎水性のコントロールによるさまざまなバリア特性制御なども注目されています。
これら新分野での技術開発を背景に、当社が推奨する受託DLCは他社とは異なる独自進化を遂げてきました。その最大の特長は、さまざまな材種・形状・使用環境などに対応する幅広い膜種とノウハウの保有です。三菱マテリアル直系子会社として、長年手がけてきた工具・金型への成膜に加え、最近では半導体材料のシリコン・パワー半導体用SiCといったセンシティブ素材、フォトマスク用ガラス、燃料電池用発電部材、風力発電用軸受など最先端技術製品の基幹部品への採用が急増中です。超硬・セラミックに代表される高硬度材から、低温処理が要求されるゴム・樹脂などの軟質材まで、数多くの材質・用途実績があります。また、DLC以外にも独自の特性が期待できるCr系やTi・Zr系といった膜種にも対応しています。成膜装置の特性は、PBS（プラズマブースタースパッタリング）によるターゲット材蒸発量とイオン化の自由自在なコントロールが可能なことです。
さらに、PVDとCVDのハイブリッド化による独自の膜種・特性コントロールがさらなる相乗効果を生み、さまざまな製品への応用性・適応性にも貢献しています。具体的には大型部材への高精度・低ミュー成膜が可能。また、直近では水素フリータイプのDLCも導入しましたので、より強度や耐久性が要求される用途への応用も期待されています。さまざまな膜種の中から提案させていただき、コーティング加工を受託させていただきます。まずは、お客さまが検討したいサンプル（基材）を当社にお送りください。当社専任の担当（渡辺）が、お客さまの多様なニーズにお応えします。